EUV블랭크마스크용 다층박막(Mo/Si)의 TEM & AFM
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작성자 관리자
조회 435회 작성일 24-10-24 16:31
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- 향상된 EUV 반사층 Mo/Si, 81층의 TEM 단면사진과 원자 현미경(AFM)으로 측정된 표면 사진
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