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80층 이상 초격자구조(다층박막) 증착 서비스 시작

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작성자 관리자
조회 86회 작성일 24-09-23 09:37

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EUV반사층(40pairs), 초격자구조 등 증착 서비스

 

드디어 당사에서 초박막(나노급), 초격자(superlattice)구조의 증착서비스를 시작합니다.

설계에 따라 ~100pairs(200층)까지도 나노급박막으로 증착 가능한 기술을 확보 하였습니다.

 

많은 관심 가져주시면 감사하겠습니다. (홈체이지'서비스소개'란 참조)

 

81층(Mo/Si) 다층 박막 샘플의 단면사진(TEM)↓ 

 

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