기업부설연구소
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연구소 보유 기술
광학 박막 코팅기술
- 단일 박막 증착 공정기술
- 다층 박막, 화합물 박막 증착 공정기술
- 고객 주문형 박막 설계 및 코팅 기술
- 광학 시뮬레이션 및 광 데이터 분석 기술
박막 설계 및 분석기술
- 광 시뮬레이션을 활용한 다층 박막 설계 기술
- RF 플라즈마 및 유체 유동 해석
- PVD 설비 구축 및 공정 제어 어플리케이션 개발
연구소 역량
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Thin-Film Research- 4inch 및 8inch RF Magnetron Sputter 증착 시스템 운영 및 설계
- 고객 맞춤형 증착 공정기술 개발
- 광학 박막 코팅 파운드리 서비스 제공
- 박막 특성 분석 기법 시스템 연구
- 초박막 관련 특허 출원
- 선행 연구를 통한 NPI(New Product Introduction) 프로세스 추진
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Metamaterials Research- 메타물질 관련 특허 출원
- 메타물질 기술에 대한 이론적 원천기술 개발
- 메타물질/메타구조 핵심 공정기술 개발
- RF 소자, 광 소자, 디스플레이 소자 분야에서의 핵심기술 확립 및 실용화 추진
연구소 보유 설비
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Magnetron Co-Sputtering System
(DBR chamber)- Optic Coating(DBR, Multi layer )과 같은 다층박막 시편제조
- 합금형태의 박막시편 제조
- Reactive Sputtering 시편제조 : TiN, TiCN etc
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Magnetron Sputtering System
(8inch multi-layer coating system)- 대면적 스퍼터링 코팅 시편제조 : 200mm size
- Reactive Sputtering 시편제조 : TiN, TiCN etc
- 고온(~700도)의 기판온도에 증착공정 테스트 가능
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6’’ Road lock Sputtering System- 2022.11 Set-up 완료
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8’’ Down Sputtering System- 2023.01 Set-up 완료
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Cell Sputtering Hybrid System- 2023.04 Set-up 완료